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Title 

나노갭 및 나노갭 센서의 제조방법

 

A method for fabricating nanogap and nanogap sensor

Authors 

정봉현김상규박혜정

Publisher 

한국생명공학연구원

Issue Date 

2006-8-2

Abstract 

본 발명은 나노갭과 나노갭 센서의 제조방법 및 상기 방법에 따라 제작된 나노갭과 나노갭 센서에 관한 것으로서, 반도체 제조 공정을 이용한 이방성 식각에 의하여 달성되는 나노갭 및 나노갭 센서의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조 방법에 의하면, 저렴한 비용으로 간편하게 나노갭 및 나노갭 센서를 대량 생산할 수 있다.나노갭, 실리콘, 이방성 식각, 에천트, 산화 공정, 나노바이오센서, SOI

Application No. 

10-2006-0072981

Patent No. 

10-0849384-0000

IPC 

Link 

http://link.kipris.or.kr/link/main/FullDoc.jsp?reg_key=4jLn6RaAi84A7NL71xinaQ%3D%3D=&APPLNO=1020060072981

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Registered Date

2019-05-02


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